矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司

      矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司，Siargo Ltd. )成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体的流量计量和测控，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。
    不同于其它MEMS传感技术，矽翔微机电系统有限公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过